
| Производитель: | VACOM |
| Страна: | Германия |
| Тип: | Магниторазрядный (ионно-геттерный) |
| Производительность по азоту, л/с: | 67 |
| Предельное остаточное давление, мбар: | 1x10^(-11) |
| Мощность, кВт: | 10 |
| Производитель: | VACOM |
| Страна: | Германия |
| Тип: | Магниторазрядный (ионно-геттерный) |
| Производительность по азоту, л/с: | 52 |
| Предельное остаточное давление, мбар: | 1x10^(-11) |
| Мощность, кВт: | 10 |
| Производитель: | VACOM |
| Страна: | Германия |
| Тип: | Магниторазрядный (ионно-геттерный) |
| Производительность по азоту, л/с: | 32 |
| Предельное остаточное давление, мбар: | 1x10^(-11) |
| Мощность, кВт: | 10 |
