Увеличение:
25x — 1 000 000x (в пересчете на площадь фотопластины 120 x 90 мм)
Вакуумная система:
Полностью автоматизирована, Ионный насос — 2 шт., Турбомолекулярный насос — 1 шт., Форвакуумный ротационный насос — 1 шт., Криоловушка
Диапазон рабочих отрезков:
от 1 до 40 мм
Источник электронов:
Термоэмиссионный катод (катод Шоттки)
Максимально допустимые размеры образцов:
200 мм (с использованием столика образцов типа III и 8-дюймового шлюза)
Предметный стол:
Эвцентрический гониометрический столик, Моторизованный по 5-ти осям, Диапазоны перемещений образца для различных типов столиков: , X: 70 мм, Y: 50 мм (тип IA), X: 110 мм, Y: 80мм (тип II), X: 140 мм, Y: 80мм (тип III), , Диапазон углов наклона образца: от -5° до +70°, Вращение: 360°
Размеры получаемых изображений:
5120х3840 пикселей, 2560х1920 пикселей, 1280х960 пикселей
Разрешение изображений во вторичных электронах:
0,8 нм (15 кВ), 1,0 нм (1 кВ), 0,8 нм (1 кВ, режим торможения луча)
Ток пучка:
от 1 пА до более, чем 200 нА