Увеличение:
6x — 300 000x (инвертированное), 12x — 600 000x (экранное)
Разрешение:
3 нм @ 30 кВ (SE), 6 нм @ 30 кВ (BSE)
Вакуумная система:
Турбомолекулярные, ротационный насосы
Детекторы:
Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора), Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния (BSE)
Компьютер:
Специализированная рабочая станция Dell
Модификации:
Апгрейд столика, EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.
Оптическая система:
Диафрагма объектива - молибденовая, регулируемая внешней вакуумной системой, Система линз - трехуровневая электромагнитная линза (конический тип)
Опционально:
CCD,LaB66 X-Ray Detector (EDS),EBSD, CL, WDS, система напыления
Предметный стол:
Пятиосевой столик, Диапазон перемещений:, X (авто): 80 мм, Y (авто): 60 мм, Z: 0 – 50 мм, R: 360°, T: -5°- 90°
Электронная пушка:
Вольфрамовый катод с подогревом — предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью