Горизонтальное исполнение.
Количество рабочих камер 1/2
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм 400х400х600
Вес садки, кг 250
Рабочая / Максимальная температура, °C 1150/1350
Давление газа, бар 6/10
Рабочий газ CH4/C2H2+N2
Предельный вакуум, Па 5х10-3/4х10-1
Скорость натекания, Па/час 0,5
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 75
Перемещение садки, не более сек 20