Горизонтальное исполнение.
Количество рабочих камер 2
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм 1000х1000х1500
Вес садки, кг 3000
Рабочая / Максимальная температура, °C 1150/1350
Давление газа охлаждения, бар 0,8-2
Рабочий газ N2/Ar
Предельный вакуум, мбар 5х10-3
Скорость натекания, Па/час 0,67
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 570
Перемещение садки, не более сек 40
Емкость бака, л 20000