Количество рабочих камер 1
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм 600х600х900
Вес садки, кг 600
Рабочая / Максимальная температура, °C 750
Давление газа охлаждения, бар 0,8–2
Рабочий газ Ar/N
Предельный вакуум, мбар 5×10-2/5×10-5
Скорость натекания, Па/час 0,67
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 100