Производитель:
Brooks Instrument
Мощность, кВт:
22,8x10^(-3)
Вход и выход:
NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5”
Температурный режим — °C:
от 0 до 45
Тип сенсора:
Мембранно-емкостной
Материалы, обращённые в вакуум:
Inconel, нержавеющая сталь 316
Разрешение:
Бесконечно, ограничено выходным шумом ≤0,0006% полной шкалы
Относительная погрешность:
±(0,15 – 0,35)
Диапазон показаний — торр:
0-0,1, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-1000