Производитель:
InstruTech
Диапазон измерения, мбар:
5,3×10^(-10) - 1,3×10^(-3) мбар
Вход и выход:
2 3/4 дюйма CF / NW35CF Conflat
Тип сенсора:
Горячий катод
Температура отжига — °C:
450
Катод:
Одиночный/двойной катод, U-образный тип, иттрий покрытый иридием или двойной вольфрам
Относительная погрешность:
±20% по азоту