Производитель:
MKS Instruments
Модель:
Series 392 Micro-Ion Plus
Мощность электродвигателя — кВт:
2,2x10^(-2)
Температурный режим — °C:
от 0 до 40
Тип сенсора:
Ионизационный
Точность:
1x10^(-8) - 100 mTorr: ±15% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 10% от показаний
Воспроизводимость:
1x10^(-8) - 100 mTorr: ±5% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 2,5% от показаний
Материалы, обращённые в вакуум:
Нержавеющая сталь 304, тантал, вольфрам, покрытый иттрием иридий, оксид алюминия, эвтектика CuAg, Ковар®, золото или никелированный ковар, боросиликатное стекло
Температура отжига — °C:
105
Температура хранения:
от -40 до 70
Внутренний объем — см3:
10,8
Электробезопасность:
2004/108/EC; EN61326-1
Интерфейсный разъем:
RS-485 / DeviceNet
Диапазон показаний — торр:
1×10^(-9) - Атм
Аналоговый входной сигнал:
от 0,5 до 7