Диапазон измерения, мбар:
5x10^(-10) - 5x10^(-2)
Вход и выход:
DN16KF, DN25KF
Габаритные размеры — мм:
99x73x66
Температурный режим — °C:
от 5 до 45
Тип сенсора:
Горячий катод
Точность:
± 20 % от величины измерения
Воспроизводимость:
± 5 % от величины измерения
Материалы, обращённые в вакуум:
нержавеющая сталь 304 и 316L, стекло, W, Y2O3 на Ir, NiFe
Температура отжига — °C:
80 на фланце
Катод:
Y2O3 с иридиевым напылением